主 题：压电薄膜换能器与微系统

吴涛，上海科技大学研究员、博导；上海市教委高层次人才。2011年博士毕业于美国加州大学洛杉矶分校。毕业后曾供职于英特尔，以博士后研究员身份加入美国斯坦福大学和东北大学。于2017年7月加入上海科技大学，建立了上科大微系统与先进传感器实验室(SMALL)。科研方向包括微纳机电系统MEMS/NEMS，压电射频/超声器件，先进集成电路工艺，以及MEMS-CMOS集成微系统。吴博士是IEEE高级会员，长期受邀担任多个国际期刊和会议的审稿人和程序委员会委员，先后主持了国家自然科学基金、上海市科委、江苏省重点研发计划等多项科研项目，已经在包括(NPG) Microsystems & Nanoengineering, Nature Comm., JMEMS, IEEE Elec. Devi. Lett., Appl. Phys. Lett., IEEE T-UFFC, IEEE MEMS, TRANSDUCERS, SENSORS等国际著名期刊和会议上发表学术论文100余篇，H-index 26。

时 间：2024年6月11日 （周二） 16：00-17：00

地 点：知新楼C702量子报告厅

邀请人：苏文斌 卢红旺

摘要：

基于氮化铝（ALN）薄膜的压电器件广泛应用于射频、超声和医学成像领域，例如薄膜体声波谐振器（FBAR）和压电微型超声换能器（PMUT）。近年来，钪掺杂氮化铝（AlScN）因其能提升压电性能而得到了广泛研究，较高的机电耦合因子有助于开发高性能的宽带谐振器、能量收集器和声学传感器。本次报告将介绍课题组在压电薄膜换能器、声学延迟线、光声成像及以及新兴研究领域的最新进展。